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製品分類:エコプロダクツ(各種機械・設備)


VEGAR-Z

除害装置

半導体産業向け高効率乾式除害装置

事業者情報:

事業者名:日本酸素株式会社
住所:〒105-8442
    東京都港区西新橋1-16-7
tel :03-3581-8200
fax :03-3580-9425
E-mail :
URL :http://www.sanso.co.jp

カテゴリ:

C5 使用
B6 環境浄化性
A4 廃棄物
A3 有害化学物質

【製品詳細】

半導体製造時に使用される特殊ガスには毒性・腐食性・可燃性などの危険性を持つものが多く、大気放出する場合は除害処理を行う必要がありますが、その典型的な方法が乾式除害法です。本装置で使用している当社開発の乾式除害剤GB減泙蓮AsH3やPH3といった水素化物ガスとの反応効率が高く、単位容積あたりのガスの除害処理量が大きいという特徴を持っており、大変コストメリットの大きい装置です。また、本装置は安全性には特に配慮した構造になっています。反応の際の発熱が小さく発熱暴走の危険性がなく、さらに除害剤が反応によって変色するため、経過状況が一目で分かります。

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