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製品分類:エココンポーネンツ(半導体・電子部品)


クリーンエスPF

PFC処理装置

地球温暖化防止を目的とした、半導体製造工程向け、排ガス処理装置

事業者情報:

事業者名:昭和電工株式会社
住所:〒105-8518
    東京都港区芝大門1-13-9
tel :03-5470-3762
fax :03-3434-1753
E-mail :
URL :http://www.sdk.co.jp

カテゴリ:

A1 地球温暖化
B4 高性能
B6 環境浄化性
C4 製造
C6 廃棄

【製品詳細】

半導体製造工程で使用されるPFC、SF6、NF3(温室効果ガス)を分解除去する廃ガス処理(除害)装置です。低温(600℃以下)、高分解率(99%以上)でPFC、SF6、NF3を除害すると共に、フッ素系の酸性ガス(HF、SiF4等)や一酸化炭素も一括処理します。また、取扱いの容易な除害カラムユニット交換方式を採用しています。使用済みの除害剤はセメント資源としてリサイクル可能です。

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