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製品分類:エコマテリアル(無機材料)


FC-2316

エッチングガス

地球温暖化防止を考慮した、半導体デバイス微細加工向け、ドライエッチングガス

事業者情報:

事業者名:昭和電工株式会社
住所:〒105-8518
    東京都港区芝大門1-13-9
tel :03-5470-3762
fax :03-3434-1753
E-mail :
URL :http://www.sdk.co.jp

カテゴリ:

A1 地球温暖化
B4 高性能
C3 設計・材料選択
C4 製造
C6 廃棄

【製品詳細】

高純度FC-2316は、最先端半導体デバイス微細加工用に開発されたドライエッチングガスで、LSIや高速・大容量のメモリーデバイス等の加工に使用されます。高純度FC-2316は、分子構造内に二重結合を有する不飽和PFCで大気寿命が2日未満と短く、GWP(地球温暖化係数)が0.1未満と非常に小さいため、GWPの大きい飽和PFCの代替品として使用されます。

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